Источник фото: https://vk.com/zntc_ao
24.03.2025
В Зеленограде создан первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм
Зеленоградский нанотехнологический центр совместно с белорусской компанией ОАО «Планар» создал первый отечественный фотолитограф с разрешением 350 нм. Это установка совмещения и проекционного экспонирования, применяемая при производстве микросхем.Как рассказал генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев, в новом фотолитографе существенно увеличена площадь рабочего поля (22х22 мм вместо 3,2х3,2 мм)...
Подробности в нашем Telegram-канале
